Компоненти за вакуум со висока температура
Термичката обработка главно вклучува процеси на оксидација, дифузија и жарење.Оксидацијата е адитивен процес во кој силиконските наполитанки се ставаат во печка со висока температура и се додава кислород за да реагира со нив за да формира силициум диоксид на површината на обландата.Дифузијата е да се преместат супстанциите од областа со висока концентрација во регионот со ниска концентрација преку молекуларно термичко движење, а процесот на дифузија може да се користи за допирање специфични допинг супстанции во силициумската подлога, со што се менува спроводливоста на полупроводниците.
